定制半导体器件制备系统

所属单位：电气工程学院

生产厂家：米开罗那（上海）工业智能科技股份有限公司

购置日期：2024年9月19日

管理人：夏雪峰

联系电话：13077979182

仪器功能介绍：惰性材料制备及功能薄膜制备，可提供惰性气体环境。

应用领域：新型电力电子器件制备、新型太阳能电池制备、储能器件制备等。